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微漏检测合格后，自动进入回收程序。

充氦回收系统工作流程见图七。

充氦过程为：对被检工件抽空后，开V1，对工件充*到规定压力后关V1。

检完漏后，V2开，工件内*自动流入回收罐。

然后V2关，V3开，机械泵抽出工件内剩余*并送入回收罐。

同时主压缩机将回收罐内的*压缩至储气罐。

因为不可能*回收（回收率高于95%），所以当储气罐内压力或浓度低于规定值时，需开V6，补充*，以保持储气罐内的*有足够的压力和浓度。

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